EN plasma-enhanced chemical vapour deposition; PECVD; plasma-enhanced CVD
LV plazmas ierosināta ķīmiskā tvaiku nogulsnēšana
DE Plasmaangeregtes chemisches Gasphasen-Abscheideverfahren; PECVD-Verfahren; Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung; Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung; PECVD; Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung; Plasmaunterstütztes CVD-Verfahren
FR déposition par vapeur chimique utilisant le procédé plasma
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